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过滤电弧真空镀膜技术(DCVA),是指在真空条件下,采用电弧放电方式,使靶材离化,产生出离子电子和颗粒,通过过滤装置的作用,把颗粒过滤干净,纯离子沉积在工件表面,形成镜面镀膜。

过滤电弧真空镀膜技术原理图