过滤电弧真空镀膜技术（DCVA），是指在真空条件下，采用电弧放电方式，使靶材离化，产生出离子电子和颗粒，通过过滤装置的作用，把颗粒过滤干净，100%纯离子沉积在工件表面，形成镜面镀膜。

过滤电弧真空镀膜技术原理图