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基于过滤电弧真空镀膜技术(DCVA),本公司自行设计制造智能真空镀膜设备,特点:

1配备高效电磁过滤系统,将离子源产生的宏观粒子过滤干净,保证进入真空炉的粒子离化率高,使镀膜达到原子级光亮度,实现纳米级镀膜;

2:配备气体离子源清洗系统,有效清除工件表面吸附的气体和污染物,活化表面,产生较多的表面空穴,从而有效提高膜基结合力;

3:配备离子扫描装置,实现大面积镀膜,最大镀膜面积300mm*300mm。